1、泄漏。氧化鋯氧量分析儀在初次啟用前須嚴(yán)格檢漏。氧氣微氧分析儀只有在嚴(yán)密不漏的前提下才能獲得準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)結(jié)果。任何連接點(diǎn)，焊點(diǎn)，閥門等處的不嚴(yán)密，將會導(dǎo)致空氣中的氧反滲進(jìn)入管道及氧分析儀內(nèi)部，從而得出含氧量偏高的結(jié)果。
2、污染。在重新使用氧化鋯氧量分析儀時，首先須注意在連接氧分析儀的取樣管路時是否漏入空氣，并且須認(rèn)真將漏入氧氣微氧分析儀的空氣吹除干凈，盡量不使大量氧氣通過氧氣微氧分析儀的傳感器以延長傳感器壽命。在管道系統(tǒng)凈化過程中，為縮短凈化時間，需要有一定的方法，一般使用高壓放氣及小流量吹除交替進(jìn)行可迅速凈化氧氣微氧分析儀管道。濕度傳感器探頭，不銹鋼電熱管傳感器 , 鑄鋁加熱器，加熱圈，流體電磁閥。
3、管道材質(zhì)的選擇。氧氣微氧分析儀管道材質(zhì)及表面粗糙度也將影響樣氣中氧含量的變化。一般不宜用塑料管，橡膠管等作為連接管路。氧氣微氧分析儀通常選用銅管或不銹鋼管，對超微量分析（指<0.1ppm）則必須用拋光過的不銹鋼管。
4、氣路系統(tǒng)的簡化及潔凈。氧化鋯氧量分析儀微量分析要求須有效排除氣路上的各種管件，閥門，表頭等中的死角對樣氣造成的污染。因此，應(yīng)盡可能簡化氧氣微氧分析儀氣路系統(tǒng)，選用死角小的連接件等。并且，避免使用水封，油封及臘封等設(shè)備，防止溶解氧逸出造成污染，更需避免在樣氣引出至氧氣微氧分析儀進(jìn)口的管線上增加易造成污染的凈化設(shè)備等。只有這樣才能保證系統(tǒng)潔凈，所得數(shù)據(jù)準(zhǔn)確。
